نام فایل : خواص پوشهاي تيتانيوم

فرمت : .doc

تعداد صفحه/اسلاید : 19

حجم : 327 کیلوبایت

بررسي پارامترهاي مؤثر بر پوششهاي
پوششهاي نيتريدي بر روي زير لايه‌هاي متفاوت با استفاده از تكنيكهاي مختلف
PVD
و انواع گوناگون كاتد ( بطور مثال آلياژ يا فلز خالص) ايجاد مي‌گردند.
مواد زيرلايه شامل انواع مختلفي از ابزارهاي صنعتي و مواد قالب مي‌باشد. پارامترهاي مؤثر بر رسوب كه در اينجا بررسي مي‌شوند شامل جريان كاتدي( در حالت كاتد فلز خالص)، ولتاژ
bias
زير لايه ، فشار جزئي گاز، لاية مياني بين پوشش و زير لايه و دانسيته قدرت مغناطيسي
-magnetron power density
مي‌باشد. اين پارامترها اصولاً بر تركيب، سختي، خواص سايشي و مورفولوژي پوشش اثر مي‌گذارد. خواص پوشش به تكنيك
PVD
استفاده شده نيز وابسته مي‌باشد.
2-4-1 انتخاب كاتد و تكنيكهاي عملي:
كاتد‌هاي فلز خالص يا آلياژ توسط تكنيكهاي متفاوت در عمليات
PVD
استفاده مي‌شوند.
Han
و همكارانش
از كاتد دو بخشي
Ti
و
Al
خالص استفاده كردند. آلياژ
TiAl
...